半導体・液晶分野では、他の工業分野では考えられないほどの多様な製品プロセスが存在します。 CVDプロセスやチャンバークリーニング等において使用されるガス体材料が、各工程でどの様に変化するのか、製造装置からの排気成分がどうなっているのかを知ることは、最適なプロセスを探るためには不可欠です。さらに、PFC排出削減などの環境対策を進めるためにも必要な作業と言えるでしょう。 DAPでは、最先端の分析分野のエキスパートを揃えたエアプロダクツ社がアメリカで長年培ってきた技術をベースに、FTIR（フーリエ変換赤外分光器）、QMS（四重極質量分析計）の2種類の分析器を使用し、排ガス分析を行っています。 誠に申し訳ありませんが、排ガス分析サービスは只今停止中です。