SiH4（モノシラン）
世界最大の製造プラントを持つRECシリコン社（米国）製。
弊社工場にて充填、品質管理を実施。カードル、ISOモジュールによる大量供給も可能。
品質規格
純度
99.9995vol%以上（但し、水素分は除く）
不純物
| Contaminants | ppmv |
|---|---|
| N2 | ≦1 |
| O2+Ar | ≦1 |
| CO2 | ≦0.1 |
| CO | ≦0.1 |
| CH4 | ≦0.1 |
| H2 | ≦50 |
| H2O | ≦1 |
※測定方法…ガスクロマトグラフ、水分計
| Contaminants | |
|---|---|
| Al | ≦5ppta |
| As | ≦5ppta |
| B | ≦20ppta |
| Cr | ≦0.01ppba |
| Cu | ≦0.02ppba |
| Fe | ≦0.4ppba |
※測定方法…FT-IR／FT-PL,NAA
| Contaminants | |
|---|---|
| Ga | ≦5ppta |
| In | ≦5ppta |
| Ni | ≦0.2ppba |
| P | ≦20ppta |
| Sb | ≦5ppta |
| Zn | ≦0.03ppba |
（RECシリコン社保証値）
比抵抗値
≧10,000Ω･cm（RECシリコン社保証値）
※測定方法…Irvin Curves
物性
可燃性、毒性、特殊高圧ガス（圧縮ガス）
| 外観 | 無色の気体 |
|---|---|
| 臭気 | 臭いは弱く、高濃度で不快臭 |
| 融点 | -185℃ |
| 沸点 | -111.5℃ |
| 蒸気圧 | 臨界温度以上の温度では圧縮高圧ガス |
| 臨界温度 | -3.4℃ |
| 発火点 | 常温で自然発火性であり発火点は非常に低い |
| 分子量 | 32.118 |
| 許容濃度 | 5ppm(TLV) |
シリンダーインフォメーション
| シリンダータイプ | 47L | |
|---|---|---|
| 充填量 | 10kg | |
| シリンダー材質 | マンガン鋼 | |
| バルブ仕様 | 材質 | ステンレス鋼 |
| 形式 | ダイヤフラム式 | |
| 口金 | 22Φ・14山・左ネジ | |
注意事項：ご使用にあたりましては、弊社担当者にご相談いただき、製品安全データシート（MSDS)をご参照下さいますようお願い致します。