NH3（高純度アンモニア）
エア・ウォーター株式会社が、堺事業所に電子材料向けの超高純度アンモニア製造プラントを設置、生産供給を開始しました。最高品質のアンモニアです。
品質規格
純度
高純度NH3：5N5（99.9995vol％以上）
不純物
| Contaminants | ppbv |
|---|---|
| N2 | ≦1000 |
| O2+Ar | ≦500 |
| H2 | ≦500 |
| CO | ≦500 |
| CO2 | ≦1000 |
| CH4 | ≦500 |
| H2O | ≦1000 |
超高純度NH3：7N（99.99999vol％以上）
不純物
| Contaminants | ppbv |
|---|---|
| N2 | ≦10 |
| O2+Ar | ≦10 |
| H2 | ≦10 |
| CO | ≦10 |
| CO2 | ≦10 |
| CH4 | ≦10 |
| H2O | ≦50 |
物性
可燃性、毒性、高圧ガス（液化ガス）
| 外観 | 無色の気体 |
|---|---|
| 臭気 | 刺激臭 |
| 融点 | -77.7℃(0.1MPa) |
| 沸点 | -33.4℃(0.1MPa) |
| 蒸気圧 | 1.01MPa(25.7℃) |
| 引火点 | 不明 |
| 発火点 | 651℃ |
| 分子量 | 17.03 |
| 許容濃度 | 25ppm(TLV-TWA) |
シリンダーインフォメーション
| 容積 | 47L | 930L | 1860L |
|---|---|---|---|
| 充填量 | 24kg | 480kg | 970kg |
| 口金サイズ | W22mm×14山 右もしくは左 | ||
注意事項：ご使用にあたりましては、弊社担当者にご相談いただき、製品安全データシート（MSDS)をご参照下さいますようお願い致します。