NF3（三フッ化窒素）
エアープロダクツ社（米国）は世界最大の製造プラントをもち、常に世界市場のトップシェアを維持し、大型容器による大量供給も可能です。
品質規格
純度
99.99vol%以上
不純物
| Contaminants | ppmv |
|---|---|
| N2 | ≦20 |
| O2+Ar | ≦15 |
| CO2 | ≦5 |
| CF4 | ≦40 |
| SF6 | ≦10 |
| N2O | ≦5 |
| H2O | ≦5 |
※測定方法…ガスクロマトグラフ・水分計
物性
毒性、液体
| 外観 | 無色の気体 |
|---|---|
| 臭気 | 無臭 |
| 融点 | -206.79℃ |
| 沸点 | -129.03℃ |
| 蒸気圧 | 1.33kPa(-171℃) |
| 分子量 | 71.0 |
| 許容濃度 | 10ppm(TLV) |
シリンダーインフォメーション
| シリンダータイプ | 47L | 10L | |
|---|---|---|---|
| 充填量 | 20kg | 5kg | |
| シリンダー材質 | マンガン鋼 | ||
| バルブ仕様 | 材質 | ステンレス鋼 | |
| 形式 | ダイヤフラム式 | ||
| 口金 | 22Φ・14山・右ネジ（左ネジ） | ||
注意事項：ご使用にあたりましては、弊社担当者にご相談いただき、製品安全データシート（MSDS)をご参照下さいますようお願い致します。