N2O（高純度亜酸化窒素）
半導体製造工程における絶縁酸化膜向けに高純度の亜酸化窒素を安定供給。増加する半導体用途に対応します。
品質規格
純度
99.999vol%以上
不純物
| Contaminants | ppmv |
|---|---|
| N2 | ≦3 |
| O2 | ≦1 |
| CO2 | ≦1 |
| CO | ≦0.1 |
| CH4 | ≦0.01 |
| H2 | ≦0.1 |
| H2O | ≦1 |
※測定方法…ガスクロマトグラフ・水分計
物性
毒性、液体
| 外観 | 無色の気体 |
|---|---|
| 臭気 | 無臭 |
| 融点 | -102.3℃ |
| 沸点 | -88.5℃ |
| 蒸気圧 | 31.3atm(0℃) |
| 分子量 | 44 |
| 許容濃度 | 50ppm(TLV) |
シリンダーインフォメーション
| シリンダータイプ | 40L | |
|---|---|---|
| 充填量 | 30kg | |
| シリンダー材質 | マンガン鋼 | |
| バルブ仕様 | 材質 | ステンレス鋼 |
| 形式 | ダイヤフラム式 | |
| 口金 | 22Φ・14山・右ネジ | |
注意事項：ご使用にあたりましては、弊社担当者にご相談いただき、製品安全データシート（MSDS)をご参照下さいますようお願い致します。