有機金属材料 液体自動供給装置（MOsupply）
もはやバブラーを交換する時代は終わりました
弊社が長年培った液体供給装置のノウハウを結集し、MOsupplyをお届けします。TMGaに代表される有機金属材料用の集中供給システムを是非ご検討下さい。
特長
- バブラー内残量ロスの大幅な削減が可能
- バブラー交換回数が激減、自動容器交換シーケンスによる安心確実なパージ＆リークチェック
- シングルタンク方式で、コンパクト化を実現
- バルク容器内のヘッドスペースガスをプロセスガスに置換可能
- コンタミやバブラー容器交換によるトラブル防止
- 高純度の有機金属材料を安定品質で供給
インターフェイス
- 筐体前面にあるタッチパネルによる、簡単な操作を実現
- 外部信号によるインターロック機能搭載
安全性
- 二種類以上の火災検知器を搭載し、有機金属材料の漏洩をいち早く検出
- 二次災害防止配管オプション対応
- 漏液パン搭載
- 防火ダンパー搭載
SAFC Hitech製品
- 弊社は長年に渡りSAFC Hitech社（旧エピケム社）の有機金属を国内販売して参りました。実績と信頼の有機金属材料と合わせ是非一度ご検討下さい。
システム例
注意事項：ご使用にあたりましては、弊社担当者にご相談いただき、製品安全データシート（MSDS)をご参照下さいますようお願い致します。