バルク特殊ガス供給システム（VSS-BSGS）

近年、太陽電池や薄型パネル、半導体用ウエーハの大型化に伴い、特殊材料ガスの大量供給（＝BSGS）のニーズが高まっています。
弊社では多くの実績を誇るVSSシリーズのラインナップとして、「VSS-BSGS」を開発・完成しました。

特長

• カードル、Y型容器、トレーラー、ISOモジュールまで対応
• コントローラーは実績あるVSS-GC-MKⅡを転用
• パージ工程から高圧連結管気密試験・供給系列切替を自動で行うことが可能
• ガス温度制御、二段減圧により温度低下、再液化を防止
• クロスオーバーBOXの供給パネル切り替え機能によりトラブル時の影響を低減
• VSS-TMSによる集中監視システムにより、集中管理・制御システム、除害装置やガス検知器を含めた工場全体を監視

モジュール仕様

	SiH4 Std. Module	SiH4 Triple Module	NF3 Module
充填量	約2,400kg	約3,600kg	約4,000kg
構造	20ftチューブ ×8本	20ftチューブ ×12本	20ftチューブ ×8本
外形概寸 （24tシャシー込）	幅　2.4m 高さ2.6m 長さ12m	幅　2.4m 高さ3.28m 長さ12m	幅　2.4m 高さ2.6m 長さ12m

供給室の構造

• 供給室と操作室を分離しオペレーターの危険度を提言
• 供給室側で各系列の状態識別をするためにパトライトを設置
• ガスが滞留しない構造、緊急除害の設置
• 壁、天井は不燃材、耐食材を使用
• 静電気除去のためのアースを設置
• 消費設備を安全に停止するために必要な容量を備えた保安電力を設置
• 要所にガス検知器を設置
• 緊急時に必要な連絡を行うための通報設備を設置

システム例

注意事項：ご使用にあたりましては、弊社担当者にご相談いただき、製品安全データシート（MSDS)をご参照下さいますようお願い致します。