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PFC回収・精製・再使用システム

PFC回収・精製・再使用システム

PFC対策ベストソリューションの提案

PFC回収・精製・再使用効果、省エネ：非分解、省資源：再使用、低環境負荷：排水量低減、コスト削減：ガスコスト削減

従来：除害処理

製造プロセスで排出されるPFCは除害装置で分解して
排水処理。

製造プロセスで排出されるPFCは除害装置

新提案：回収・精製・ 再使用

製造プロセスで排出されるPFCを回収、精製して同プロセスで再使用。

製造プロセスで排出されるPFCは除害装置

回収・精製・再使用システムの特長

  1. 特殊吸着剤による吸着方式により5ナインの
    精製純度達成
    トータル回収率90％以上
  2. オンサイトで回収・精製・再使用が可能
  3. 高圧ガス製造設備にならないので、運転が容易で
    完全自動運転が可能
  4. PFC濃度モニター、主要不純物モニターを搭載し
    精製PFC純度とPFC回収率の常時モニタリングが
    可能

精製装置仕様、性能

対象PFC：SF6, CF4, C2F6（2成分まで）
精製流量：1～10SLM（大流量仕様も可能）
サイズ：1200W×600D×1850H
精製純度：99.995～99.999％
不純物：N2≦10ppm
：O2≦1ppm
：H2O≦1ppm
消費電力：4kWh

PFC回収・精製・再使用システムの特長

PFC回収システムプラン

PFC回収・リサイクルシステムプラン

Option1

  • PFC回収装置で80～90％に濃縮したPFCガスをボンベに充填し、PFCガス破壊業者にて処理いたします。

Option2

排ガス中のPFCガスを1～90％に濃縮して除害設備で処理します。

  • 除害設備をお持ちの場合
    • 既存の除害設備で処理可能な流量にまでPFC回収装置で調整しますので除害設備の増設の必要がありません。
  • 除害設備の購入を計画されている場合
    • 排ガスをPFC回収装置により濃縮しますので除害設備の台数を削減することができます。また、除害設備の削減により排水量の削減にもつながります。

Option3

  • 排ガス中のPFCガスを回収・濃縮することで90～95％の濃度で再利用できます。

Option4

  • 排ガス中のPFCガスを回収・精製することで99.995～99.999％の濃度で再利用できます。

PFC回収装置仕様

製品型式Vital 250Vital 500Vital 500 Twin
処理流量250L/min500L/min1000L/min
装置サイズ1450W(mm)2700W(mm)5000W(mm)
1350D(mm)1900D(mm)1750D(mm)
1850H(mm)2250H(mm)2250H(mm)
対象ガスCF4, C2F6, C3F8, SF6

PFC回収システムはAIR LIQUIDE社のライセンスを受けています。

注意事項：ご使用にあたりましては、弊社担当者にご相談いただき、製品安全データシート（MSDS)をご参照下さいますようお願い致します。

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