ケミカル温度制御装置
VaporGuard®
VaporGuard®は液体ソースの温度を正確かつ安定に制御するバブリングシステム用恒温槽です。従来機であるATCSよりケミカル温度制御性能が向上し、特にバブリング中に生じるキャリアガスによる温度変動を極力抑えることができます。
インターフェースはATCSと互換性がありますので、置き換えも可能です。
各種アラーム
- バブラー温度
- 設定温度に対して所定の範囲外でアラーム
- 液面レベル
- 充填量の任意の設定(8段階)でアラーム
- 装置異常
- 装置異常の一括出力
特長
- 電源ユニットと恒温槽(24VDC以下)にユニットを分離し、安全性を向上
- 温度制御性能を向上(従来機平均ROR=0.26℃、本機平均ROR=0.80℃)
- 従来型ATCSからの置き換えが可能。信号インターフェースに互換性あり
- リモートパネルディスプレイをオプションとし、遠隔での表示画面設置が可能
- 残量/温度アラームトリガなど、必要に応じて設定値を変更可能
- RoHS(6品目)対応可能
- 温度測定プローブ抜け監視により、ケミカルの過昇温を防止
- APCI社製1.2L SUS容器と1000cc、1500cc石英容器に適応
- CE、S2取得予定
標準仕様
性能仕様
| レベル表示 | 11%～100%(9段階) |
|---|---|
| 温度制御レンジ | 10℃～110℃ |
| 温度指示精度 | ±0.2℃ |
| 温度安定度 | ±0.1℃ |
各モジュール重量
| 恒温槽本体 | 6.0kg |
|---|---|
| 電源ユニット | 2.5kg |
| リモートディスプレイ(オプション品) | 150g |
寸法仕様
| 恒温槽部 | 236mm(幅)×213mm(奥行)×217mm(高さ) |
|---|---|
| 電源部 | 229mm(幅)×64mm(奥行)×218mm(高さ) |
| リモートディスプレイ(オプション) | 144mm(幅)×41.2mm(奥行)×50.8mm(高さ) |
用力仕様
| 電力 | 90～250VAC, 50/60Hz, 300/600W(最大消費電力) 起動時突入電流(Ip):6.3A |
|---|
システム仕様
| 既存ATCS | VaporGuard | ||
|---|---|---|---|
| モデル名 | 温度レンジ | モデル名 | 温度レンジ |
| ATCS 15 | 10℃～60℃ | VG300W set 60℃ | 10℃～110℃ |
| ATCS 15-TLC ATCS 15-TLCHF ATCS 15-TLCHFC | 10℃～22℃ | VG300W set TransLC version | 10℃～22℃ |
| ATCS 15-TLCHFCK | 10℃～20℃ | VG300W set TransLC version | 10℃～20℃ |
| ATCS 15-HT | 40℃～90℃ | VG600W set 90℃ | 10℃～110℃ |
| ATCS 15-SS | 10℃～60℃ | VG600W set 60℃ | 10℃～110℃ |
| ATCS 15-HT SS | 40℃～90℃ | VG600W set 90℃ | 10℃～110℃ |
注意事項：ご使用にあたりましては、弊社担当者にご相談いただき、製品安全データシート（MSDS)をご参照下さいますようお願い致します。