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高純度ケミカル供給装置

米国エアプロダクツ社(APCI)は、高純度特殊ケミカル製造メーカーとしての豊富な知識と経験に基づいた供給装置を、ワールドワイドに販売しています。国内では大同エアプロダクツ・エレクトロニクス(DAP)が主要窓口となり、納入・立上げ・メンテナンスの他、お客様の要求に沿った仕様変更等トータルサービスを請負っています。次世代半導体プロセスに必要な新しいガス・ケミカルについても、その供給・パージ方法・取扱い等について、データに基づいた提案を行っています。

ChemGuardTM（ケムガード）

高純度ケミカル供給装置であるChemGuardTM（ケムガード）は、ワールドワイドで1,000台を超える出荷実績を持ち、国内外で多大な評価を得ています。

特長

  • フットプリントの低減
  • 国際標準安全基準（SEMI,CE）適合
  • ワールドワイドでのエンジニアリングサポート体制
  • 実績に伴う信頼性と良好なパフォーマンス
  • ケミカルの特性に合わせた幅広いラインナップ

ラインナップ

  • CG100 : TEOS、TEB、TEPO、Z4MS、ZTOMCATS他
  • CG200 : BTBAS
  • CG300 : メタル系ソース(CupraSelect®他)
  • CG325 : HCD
  • CG350 : ヒーティングパージ機能付 TiCI4
  • CG400 : TMA
  • CG500 : ソルベントパージ機能付 High-k材料他
  • CGTeflon : Trans-LC®
  • CGGenll : カラータッチスクリーン仕様

VaporGuard®（ベーパーガード）

VaporGuard®(ベーパーガード)は、十数年に渡って愛用いただいたATCSの後継機で、CVD装置及び拡散炉へソースガスを安全且つ安定的にバブリング供給する為の温度コントロール装置です。加熱・冷却能力が向上した他、より細かな設定や画面表示が可能となっています。従来機からの切替えも考慮されています。

特長

  • ケミカル残量をデジタルで指示するマルチレベルセンサ
  • フルレンジ温度設定
  • 遠隔での温度確認と設定
  • 安全性を追求したサーマルカットアウトスイッチを装備

ラインナップ

  • VG300W : Trans-LC®、POCI3他、石英バブラー対応
  • VG600W : TEOS他、ステンレス容器対応

注意事項：ご使用にあたりましては、弊社担当者にご相談いただき、製品安全データシート（MSDS)をご参照下さいますようお願い致します。

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