流量コントロールシステム（酸化・拡散工程用）
MDOT Plus
MDOT Plusはオキシ塩化リン等の拡散剤の蒸発流量をコントロールします。ケミカルの蒸発量および流量に影響を与えるものとして、ケミカルの温度、バブリングガスの流量、およびバブラー内の圧力があります。
MDOT Plusは、これら3つの要素をマイクロプロセッサーにより制御し、従来得られなかった安定したケミカル蒸発流量のコントロールを実現しました。
ケミカル蒸発量をMDOTと同じ方式でコントロールしていますので、従来のMDOTからの置き換えとしても最適です。
各種アラーム
- バブラー温度
- 設定温度に対して±2℃の範囲外でアラーム
- バブラー内圧力
- 610mmHg以下910mmHg以上でアラーム
- 液面レベル
- 充填量の15%以下でアラーム
- 装置異常
- 装置異常の一括出力
特長
- 蒸発流量を設定値の±1%以内で制御する高精度コントロールシステム
- 高純度ケミカルの汚染原因となる金属配管類を一切使わず、テフロンおよび石英を使用
- 各種アラーム機能を持ち、システムの動作を常に監視して、各種インターロックを製造装置にかけ、誤動作等を防止可能
- DDCインターフェースを介してシステム(製造装置)から制御でき、自動化対応が可能
- タッチパネルディスプレイを採用し、視覚的な操作が可能
- モジュラー形式を採用しており、現在使用しているガスソースキャビネットに簡単に取り付け可能
- 1,500cc容器が使用可能となり(従来品は1,000ccまで)、容器交換頻度を減らすことが可能
- 容器交換時の面倒なパージやリークチェックを自動化し、安全に容器交換を行うことが可能
- 容器交換時でのパージガスの排出はVENT側と炉側で切り替え可能
標準仕様
性能仕様（MFC）
| 精度 | ±1%F.S. |
|---|---|
| 直線性 | ±0.5%F.S. |
| 繰返性 | ±0.2%F.S. |
寸法仕様
| 恒温槽部 | 280mm(幅)×410mm(奥行)×325mm(高さ) |
|---|---|
| MFC部 | 92mm(幅)×340mm(奥行)×325mm(高さ) |
| 電源部 | 383mm(幅)×230mm(奥行)×220mm(高さ) |
| 恒温槽部～マスフロー部 | 1m |
|---|---|
| 恒温槽部～電源部 | 2m |
| マスフロー部～電源部 | 2m |
用力仕様
| 電力 | 100VAC/50~60Hz/5A |
|---|---|
| RUNモード切り替え信号 | 5～24VDC |
| キャリアガス導入 | 0.1MPaG 窒素 1/4"ステンレスswagelok |
| バルブ駆動用ガス導入 | 0.38～0.59MPaG 空気または窒素 1/4"ステンレスswagelok |
| 炉(ファーネス)へのガス出口 | 1/4"テフロン製フィッティング |
| キャリアガスのベント出口 | 1/4"テフロン製フィッティング |
MDOT Plus システム仕様
| 旧MDOT 対応モデル | ケミカル | 流通レンジ | MFCサイズ | 温度 | 容器サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| MDIA-132 | POCI3 | 50-250mg/min | 2000SCCM | 20℃ | 1000 or 1500cc |
| MDIA-172 | POCI3 | 100-500mg/min | 2000SCCM | 25℃ | 1000 or 1500cc |
| MDIA-252 | BBR3 | 200-700mg/min | 2000SCCM | 20℃ | 1000 or 1500cc |
| MDIA-462 | PBR3 | 80-250mg/min | 2000SCCM | 50℃ | 1000 or 1500cc |
注意事項：ご使用にあたりましては、弊社担当者にご相談いただき、製品安全データシート（MSDS)をご参照下さいますようお願い致します。