オキシ塩化リン集中自動供給システム（PVRefill）

Si結晶系太陽電池セルにドーパントとして使用されるオキシ塩化リン（POCl3）を拡散装置内小型容器に供給するシステムを開発しました。
オキシ塩化リンを大型容器にて集中供給することにより、安全性の向上とコスト低減のお役に立てるシステムを提案します。

特長

• 供給装置、中継BOX、容器周辺部ユニットの組み合わせにより自由度の高いシステム構成が可能
• 大型容器から拡散装置内小型容器に供給するシステムを実現
  • 小型容器の交換作業が不要となり、生産のダウンタイムが解消可能です
  • 大型容器のみ容器交換を行うため、容器交換頻度が減少します
• リフィルシステムの容器交換は自動シーケンスにて実施
  • パージ工程の自動化により容器交換の安全性が向上します
• 液センサーにより大型容器内POCl3の使い切りが可能
  • 容器内の残量ロスを削減でき、コストダウンが図れます
• 腐食性の強いPOCl3に適応した配管材料を選定
• 小型容器残量監視機能により自動充填可能

安全性

• POCl3の漏洩検知器を搭載
• 各種インターロック機能を装備
• 漏洩防止配管を採用
• 大型容器保護機能（オプション対応）

システム例