シリコン半導体材料
シリコン半導体用 Key Products
High-k材料
- Al
- TMA
- Hf
- HTB、TDMAH、TDEAH、TEMAH、
Hf(MMP)4
- Zr
- ZTB、TDMAZ、TEMAZ
- Si
- 3DMAS
- La
- La(THD)3
バリアメタル材料
- Ta
- TBTDET、PDMAT
- W
- W(CO)6
※上記以外にも取り扱っておりますので、詳細はお尋ねください。
つくば特殊化学品センター
（ISO9001・14001取得）
レベルセンサー
EpiSensor
液体材料についてリアルタイムの残量をグラム表示 (または%表示)できるシステムです。
適切なタイミングでの容器交換を可能にします。
表示ユニットは1台でバブラーを8本まで接続可能。
Precursors for HfO2 and ZrO2 by ALD
注意事項：ご使用にあたりましては、弊社担当者にご相談いただき、製品安全データシート（MSDS)をご参照下さいますようお願い致します。