Trans-LC®（トランス1,2-ジクロロエチレン）
Trans-LC®は熱酸化炉の洗浄、及びウエーハ上の金属不純物除去に最適です。
安全性、腐食、品質の面からトラブルの起こりやすいHCIの代替として全世界で幅広く御使用頂いております。
| Trans-LC® | HCI | |
|---|---|---|
| 配管 | テフロンチューブでの施工で取扱いが容易 | 耐腐食性高圧配管 |
| 供給系 | 恒温槽 (VaporGuard®) | ガスキャビネット |
| メンテナンス コスト | 低 | 高 |
| 純度 | 7N | 5N |
注意事項：ご使用にあたりましては、弊社担当者にご相談いただき、製品安全データシート（MSDS)をご参照下さいますようお願い致します。