Low-k
Low-k Dielectric Precursors
Our Comprehensive Mix of Low-k Dielectrics Includes
Air Products’ BEOL Dielectrics Roadmap
Next Generation Low-k Materials-Solution for 45nm and beyond
Schumacher DEMSTM ILD Precursor
Schumacher P-DEMSTM ILD Precursor
Porous OSG
Current Generation Low-k Materials
- Trimethylsilane (3MS)
- Z4MSTM CVD Precursor
- ZTOMCATSTM CVD Precursor
Gas and Chemical Precursors
Zシリーズは、世界で最大のシリコンメーカーであるダウ・コーニング社が製造し、エアープロダクツグループが世界各地域でNo.1シェアのもと販売しております。日本のお客様には国内総代理店である大同エアプロダクツ・エレクトロニクスがお届けいたします。
大同エアプロダクツ・エレクトロニクスからお届けするZシリーズのLow-k材料は需要が急激に伸びた場合でも、ダウ・コーニング社の十分な製造能力で対応します。また、国内では大同エアプロダクツ・エレクトロニクスのつくば特殊ガスセンターに常時、必要量を在庫しておりますので、短納期でお届けすることが可能です。
- Trimethylsilane (3MS)
- DOW CORNING® Z4MSTM CVD Precursor
- DOW CORNING® ZTOMCATSTM CVD Precursor
DOW CORNING社
MIDLAND工場
DOW CORNING is a trademark of Dow Corning Corporation, Midland, Mich. USA. Z4MS and ZTOMCATS are trademarks of Dow Corning Corporation, Midland, Michi. USA, subject to license from Air Products and Chemicals,Inc.
注意事項：ご使用にあたりましては、弊社担当者にご相談いただき、製品安全データシート（MSDS)をご参照下さいますようお願い致します。