エアープロダクツ社製品リスト
| 酸化／チューブ洗浄工程 | Trans-LC® |
|---|---|
| ドーピング／拡散工程 | トリエチルアルシネイト（TEASAT） オキシ塩化リン（POCl3） 三臭化ホウ素（BBr3） |
| CVD絶縁膜工程 | テトラエトキシラン（TEOS） リン酸トリメチル（TMPO） リン酸トリエチル（TEPO） 亜リン酸トリメチル（TMPI） ホウ酸トリメチル（TMB） ホウ酸トリエチル（TEB） イレブンエンリッチドホウ酸トリエチル（TEB11） ジエチルシラン（LTO-410TM） テトラメソキシゲルマニウム テトラメチルシクロテトラシロキサン（ZTOMCATS） （ビスターシャルブチルアミノ）シラン（BTBAS） |
| ゲート絶縁膜 | ハフニウム テトラクロライド（HfCl4） ハフニウム タートブトキサイド（HTB） テトラキス ジエチルアミノ シリコン（TDMAS） テトラキス ジエチルアミノ ハフニウム（TDEAH） ジルコニウム テトラクロライド（ZrCl4） ジルコニウム タートブトキサイド（Zr(t-BuO)4） テトラキス ジエチルアミノジルコニウム（TDEAZ） |
| 強誘電体 | ターシャルブチルイミノ トリ（ジエチルアミノ）タンタリウム（TBTDET） （ビスターシャルブチルアミノ）シラン（BTBAS） |
| 低誘電率絶縁膜 | テトラメチルシクロテトラシロキサン（ZTOMCATS） テトラメチルシラン（Z4MS） トリメチルシラン（Z3MS） ジエトキシメチルシラン（DEMS） フルロトリエソオキシシラン（FTES） |
| CVD配線工程 | テトラキスジメチルアミノチタン（TDMAT） 四塩化チタン（TiCl4） キュープラセレクト（CupraSelect®） |
注意事項：ご使用にあたりましては、弊社担当者にご相談いただき、製品安全データシート（MSDS)をご参照下さいますようお願い致します。