Semicon Japan 2010 出展のご案内 ～PFC回収装置デモ機展示のお知らせ～
近年、半導体・液晶市場においても温暖化対策は非常に重要な課題となっており、特にPFCガスの排出量削減については、各企業とも大きな悩みとなっています。大同エアプロダクツ・エレクトロニクス株式会社では、親会社であるエア・ウォーター株式会社とともに、PFC対策の中でもっとも有効な方法である「PFCガスのリサイクル」を可能にしたPFC回収装置の開発・販売を行っています。さらに、エア・ウォーター株式会社の開発したPFC精製装置と組み合わせることで「99.9%以上の高純度PFCガスのリサイクル」を可能にするシステムを構築することができます。
弊社は、セミコンジャパン２０１０にエア・ウォーターグループの一員として出展することとなり、これまでよりさらに小型化したPFC回収装置のデモ機をエア・ウォーターのブース内に展示させていただきます。また、同じブースにはPFC精製装置のデモ機も展示しておりますので是非エア・ウォーターのブースにお立ち寄りの上、実機をご覧いただきますようお願い申し上げます。
－記－
| 開催場所 | ：幕張メッセ |
| 開催日 | ：2010年12月1日（水）～ 3日（金） |
| 開催時間 | ：10：00AM ～ 5：00PM |
| ブース番号 |
：HALL6 6D-904 |
| ◆ | 【実機展示】新型PFC回収・精製装置 （大同エアプロダクツ・エレクトロニクス株式会社と共同開発） |
| ◆ | 【実機展示・実演】ドライアイススノー精密洗浄システム“Quick Snow” |
| ◆ | 【実機展示】小型液体窒素製造装置 |
| ◆ | 【製品展示】Ｒ．Ｐｏｒｏｒｏｃａ（Oリング製品）（エア・ウォーター・マッハ株式会社） |
| ◆ |
【実機展示】新型シリンダーキャビネットVSS-GC-MKII（エア・ウォーター・プラントエンジニアリング株式会社） |
| ◆ | 大気圧プラズマ装置 |
| ◆ | 高純度アンモニア |
| ◆ |
防振・吸音材料（エア・ウォーター・マッハ株式会社） |
以上
＜本件に関するお問い合わせ先＞
〒592-8331
大阪府堺市西区築港新町２丁６番４０
大同エアプロダクツ・エレクトロニクス株式会社
製造・エンジニアリング本部 村上 康弘
TEL：072-244-6704 FAX：072-244-6702
2010.11.17