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Semicon Japan 2004 出展のご案内

日本の半導体関連業界は昨年より目覚しい回復を遂げつつあり、 3年ぶりに活況を呈しております。今後、 国際的に競争力のある分野は好調を持続すると見られています。
弊社もこのような業界に向け、 新規材料の開発及び周辺機器に力を入れて行きたいと考えており、お客様に常に新しいニュースを提供していきたいと考えます。
どうか弊社ブースにお立ち寄りいただきます様、お願い申し上げます。

開催場所：幕張メッセ
開催日：2004年12月1日（水）～ 3日（金）
開催時間：10：00AM ～ 5：00PM
ブース番号：5A-601

出展内容：
◆　特殊材料ガス（NF3、N2O、WF6、SiH4、C2F6、GeH4、Z3MSTM）
◆　バルク特殊ガス供給システム（BSGS）
◆　PFCソリューション（回収・リサイクル、チャンバークリーニングの最適化、除害、代替ガス）
◆　Schumacher製品（次世代材料、Low-k/High-k材料、ケミカル供給装置、他）
◆　エレクトロニクス向け研磨剤（CMPスラリー、ポリッシングスラリー）
◆　化合物半導体材料（Epichem 他）
◆　新型ガスキャビネット
◆　パルスチューブ冷凍機（GLOPUL）（エア・ウォーター社）
◆　高真空エピタキシャル （エア・ウォーター社）
◆　大気圧プラズマ装置 （エア・ウォーター社）
◆　O-RING （AWIマッハ社）
◆　フッ素系洗浄液再生装置 & マルチコレクター（タイヨーテクノ社）


＜本件に関するお問い合わせ先＞
大同エアプロダクツ・エレクトロニクス株式会社
〒542-0081
大阪市中央区南船場4丁目2番4号
日本生命御堂筋ビル6階
事業開発本部　中島 洋子
TEL：06-6120-0913
FAX：06-6120-0920

2004.12.01

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