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2004年アーカイブ

Semicon Japan 2004 出展のご案内

日本の半導体関連業界は昨年より目覚しい回復を遂げつつあり、 3年ぶりに活況を呈しております。今後、 国際的に競争力のある分野は好調を持続すると見られています。
弊社もこのような業界に向け、 新規材料の開発及び周辺機器に力を入れて行きたいと考えており、お客様に常に新しいニュースを提供していきたいと考えます。
どうか弊社ブースにお立ち寄りいただきます様、お願い申し上げます。

開催場所：幕張メッセ
開催日：2004年12月1日（水）～ 3日（金）
開催時間：10：00AM ～ 5：00PM
ブース番号：5A-601

出展内容：
◆　特殊材料ガス（NF3、N2O、WF6、SiH4、C2F6、GeH4、Z3MSTM）
◆　バルク特殊ガス供給システム（BSGS）
◆　PFCソリューション（回収・リサイクル、チャンバークリーニングの最適化、除害、代替ガス）
◆　Schumacher製品（次世代材料、Low-k/High-k材料、ケミカル供給装置、他）
◆　エレクトロニクス向け研磨剤（CMPスラリー、ポリッシングスラリー）
◆　化合物半導体材料（Epichem 他）
◆　新型ガスキャビネット
◆　パルスチューブ冷凍機（GLOPUL）（エア・ウォーター社）
◆　高真空エピタキシャル （エア・ウォーター社）
◆　大気圧プラズマ装置 （エア・ウォーター社）
◆　O-RING （AWIマッハ社）
◆　フッ素系洗浄液再生装置 & マルチコレクター（タイヨーテクノ社）


＜本件に関するお問い合わせ先＞
大同エアプロダクツ・エレクトロニクス株式会社
〒542-0081
大阪市中央区南船場4丁目2番4号
日本生命御堂筋ビル6階
事業開発本部　中島 洋子
TEL：06-6120-0913
FAX：06-6120-0920

2004.12.01

第11回 ISESH 幕張2004

2004年7月4日～8日、幕張メッセにおいてISESH2004が開催されます。これはESH関連の技術、手法について新しいアイデア、斬新的なアイデアについての意見交換を行う国際会議です。この会議は、WSC加盟のEECA-ESIA, JEITA, KSIA, SIA, TSIAが持ち回りで主催しており、本年はJEITAが主催、 EECA-ESIA,KSIA,SIA,TSIAが協賛して開催されます。本会議は、半導体工場、サプライヤ、研究施設の方のESHに関係する専門家のみなさんが参加されます。

弊社からは地球温暖化対策の一つとしてPFC回収装置について発表いたします。国内デバイスメーカの生産ラインにて実施したフィールドテストの結果など最新データについて紹介いたします。（担当：奥 秀彦） 

1. 日　時：2004年7月6日（火）11：30～12：00 
2. 場　所：幕張メッセ 国際会議場 3階 Room#：302 
3. テーマ：半導体製造装置におけるPFC 回収システム 


＜本件に関するお問い合わせ先＞ 
〒542-0081
大阪府大阪市中央区南船場4丁目2番4号 
大同エアプロダクツ・エレクトロニクス株式会社 
事業開発本部 
TEL：06-6120-0913　FAX：06-6120-0920

2004.07.01

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